磷烷的作用
在电子气家族中，硅烷、磷烷、硼烷、砷烷应用量较大，是IC制造极为重要的原料。其中的磷烷是半导体器件制造中的重要 N型掺杂源，同时 磷烷还用于多晶硅化学气相沉淀、外延 Ga P材料、离子注人工艺、MO C V D工艺、磷硅玻璃(PSG)钝化膜制备等工艺中。
PH3 ，易燃、易爆、剧毒，其毒性 数为：PEL/TLV 0.3ppm， STEL 1ppm，LC50 20ppm，IDLH 200ppm，属剧毒危害品。
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磷烷的作用
在电子气家族中，硅烷、磷烷、硼烷、砷烷应用量较大，是IC制造极为重要的原料。其中的磷烷是半导体器件制造中的重要 N型掺杂源，同时 磷烷还用于多晶硅化学气相沉淀、外延 Ga P材料、离子注人工艺、MO C V D工艺、磷硅玻璃(PSG)钝化膜制备等工艺中。
PH3 ，易燃、易爆、剧毒，其毒性 数为：PEL/TLV 0.3ppm， STEL 1ppm，LC50 20ppm，IDLH 200ppm，属剧毒危害品。
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